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所属品牌:gemu盖米

产品型号:53 icomline

gemu盖米 53 icomline电动控制阀是一款2/2隔膜隔膜截止阀,是为半导体生产中准确而苛刻的控制应用而开发的。阀门的密封概念基于久经考验的gemüpd设计,其​​中执行器和介质通过ptfe调节锥分开。由于调节锥的轮廓,执行机构的行程和连接尺寸可以根据客户要求进行定制,因此gemüc53 icomline几乎可以满足高科技半导体行业的所有控制和流量要求。得益于精密步进电机与超纯车身材料的结合,它特别适用于光刻,cmp和蚀刻工艺,以及在半导体产品的分析领域中的应用。

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gemu盖米 53电动控制隔膜截止阀

gemu 电动控制隔膜截止阀

用于半导体行业的超纯应用的控制阀

带步进电机的高分辨率线性执行器

基于icomline系列的隔膜截止阀

经过测试的塞子隔膜设计

所有介质润湿的部件均由pfa或ptfe制成

一百万个合格的控制开关周期

洁净室制造(hp版),符合semi f 57

连接方式:喇叭口;primelock®; 

执行器:电动

阀体材料:pfa;ptfe tfm™

工作压力:6巴

介质温度:10°c-150°c

公称尺寸:dn 8(1/4''); dn 10(3/8英寸); dn 15(1/2英寸); dn 20(3/4英寸)


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